【半導体トータルソリューション】
弊社は日系装置、部品・加工、材料に関する80社超との強固なチャネルを基盤に、新品・中古装置、各種部品、基礎原材料まで半導体サプライチェーンを網羅。さらに30名超の専門家陣が、機械設計やプロセス開発、日中韓台の市場調査、投資誘致から進出まで一気通貫で支援します。
【装置事業】
主要な日系半導体装置メーカー10社以上、および中古装置大手の全社と強固なチャネルを保有
新品ラインナップ:検査・計測装置 | 露光装置 | CMP装置 | 洗浄装置 | 精密機器
中古調達サービス:顧客ニーズ・工場出庫(遊休設備)リストに応じたテーラーメイド調達
【部品事業】
30社以上半導体部品メーカー、20社以上半導体加工企業との強固なネットワーク
購入品(市販コンポーネント)
a. コータ・デベロッパー、洗浄、CMP装置製造用パーツ・部品
b. ALD/CVD/エッチング装置のチャンバー内消耗品(パーツ)
c. 成膜/エッチングプロセス材料用の各種ボンベ、シリンダー 、センサー等
加工部品(受託加工・カスタム品)
a. 各種超精密金属加工品
b. フッ素樹脂/プラスチック加工品
c. 各種表面処理加工(特殊コーティング等)
【材料事業】
20社以上日系半導体材料メーカーとの良好なリレーションおよび独自チャネルの保有
ブランド材料(完成品)
フォトレジスト、前駆体(プレカーサー)、CMPスラリー、洗浄液、マスクブランクス、ダイヤモンドウェーハなど
基礎原材料・コンポーネント
高純度フッ素樹脂、モノマー、光酸発生剤(PAG)、添加剤、セラミック粉末、CMP用研磨粒(アブシブ)など
【コンサルティング事業】
30名以上日本人専門家リソースで、半導体の全領域を網羅
対応プロセス:
露光(露光およびコータ・デベロッパー)、エッチング、成膜、イオン注入、メッキ、CMP、洗浄など
提供サービス:
機械設計、プロセス開発・調律、材料開発・選定、現地据付・メンテナンス、サプライチェーン等の専門家コンサルティングサービス
市場調査:
日本・中国大陸・韓国・台湾の半導体市場における専任リサーチ・特定テーマ調査
投資サポート:
日本の半導体投資案件のソーシングから、交渉、ローカライズ・進出までの一体化支援
国内トップクラスのパートナー企業との連携のもと、多様なニーズに応える高性能な日本メーカー製設備を国内に保有しています。
フッ素樹脂材料:
PCTFE、ECTFE、ETFE、PFA
樹脂加工:
切削加工、溶融加工、薄膜加工/コーティング加工。
また、各種評価・検証に対応可能な一式のサンプル試験環境を完備
樹脂部品:
バルブおよび継手、フィルターメンブレン/フィルターカートリッジ、フォトリソグラフィ・現像装置用部品、薬液槽・各種容器 等
金属加工精度:
平行度 0.01mm、平面度 0.02mm、直線度・直角度 0.02mm、位置度 0.02mm、振れ(偏摆)0.03mm、円周振れ 0.03mm、真円度 0.03mm 等
また、寸法公差は10µm レベルの精度要求に対応可能
静電チャック/ヒータープレート:
最高温度 750℃ まで対応可能
その他チャンバー内消耗品:
日系/米系装置向けのセカンドソース消耗品および金属部品を提供可能
多くの消耗品は日本・台湾・韓国のデバイスメーカーのファブにて評価を完了、すでに量産実績